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多元化合物薄膜太陽能電池的核心制程就在膜層的沉積及其硒化熱處理結(jié)晶的工藝上。膜層沉積目前主要采用磁控濺射(簡稱濺射)、熱蒸發(fā)(簡稱蒸鍍)等方法進行鍍膜。CIGS即銅銦鎵硒薄膜中的“硒”材料因其物理性質(zhì)無法用濺射鍍膜,主要采用蒸鍍,臺灣WST公司就是在硒的蒸鍍熱源與制程上取得了質(zhì)的創(chuàng)新,可用如下文字表述:一項目前全球較先進的銅銦鎵硒鍍膜關(guān)鍵技術(shù)——長線型蒸發(fā)熱源與硒化熱處理爐。這項技術(shù)可以說是對銅銦鎵硒材料鍍膜及其硒化熱處理的一次重大提升。
銅銦鎵硒薄膜太陽能電池膜層的制程,是多年來太陽能光伏發(fā)電產(chǎn)業(yè)所追求的能低成本技術(shù),而其中的硒化熱處理更是業(yè)界長久以來未能突破的較關(guān)鍵性技術(shù),對此,近年來全球?qū)︺~銦鎵硒鍍膜技術(shù)的研發(fā)已燒掉了上百億美元的資金,但因為有些難關(guān)無法突破,使得銅銦鎵硒薄膜太陽能電池只能停留在少量生產(chǎn)階段,其主要原因就是鍍膜制程中的主吸收層必須做硒化熱處理,使之結(jié)晶活化,結(jié)晶就是活化,而只有活化才能具有光電轉(zhuǎn)換的功能,沒有結(jié)晶就不會發(fā)電,結(jié)晶不良,發(fā)電效率就差,但使用現(xiàn)有的高溫熱處理技術(shù)和設(shè)備很容易造成膜層預(yù)設(shè)的銅銦鎵硒摩爾比(Moleratio)失配,產(chǎn)生孔洞,致使膜層剝落受損,這一問題至今仍沒有更有效的解決方案,嚴重地影響了銅銦鎵硒薄膜太陽能電池大規(guī)模和大面積的量產(chǎn)。
目前業(yè)界普遍使用的硒化熱處理爐主要是以石英管為體、硒化氫(H2Se)氣體為原料,因受其石英管的限制,操作面積小、升溫慢、降溫更慢(約需10小時),且產(chǎn)成品的優(yōu)良率低,另外,使用的硒化氫氣體是劇毒,容量爆炸,材料也十分的昂貴,制程中耗電、耗材、耗時、耗費驚人,成品率又低,這使得目前銅銦鎵硒鍍膜成本居高不下,如果解決了這個問題,總成本現(xiàn)已低于晶體硅的銅銦鎵硒的成本還將大幅度地降低,然而在沒有更好更新的技術(shù)出現(xiàn)之前,石英爐管設(shè)備仍是目前全球業(yè)界不得已的選項。而臺灣WST公司的低溫固體硒硒化熱處理關(guān)鍵技術(shù)就是在此瓶頸上的革命性突破。
臺灣WST公司為解決硒化熱處理鍍膜難關(guān)已進行了十余年的研發(fā)歷程,走在了世界上研發(fā)此頂技術(shù)的德國、美國和日本等光伏發(fā)電大國的前面,其技術(shù)現(xiàn)已成熟正推向全球光伏市場進行實際量產(chǎn)應(yīng)用。這項技術(shù)的鍍膜面積目前達1~2平方米,而膜層均勻度公差小于3%,且制程速度快,成本可比現(xiàn)有工藝節(jié)省10倍。
近日,該公司已在中國大陸設(shè)立了辦事機構(gòu)(遼寧陸臺太陽能光伏科技發(fā)展有限公司)并派駐了首席代表。
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